傳感器晶圓 GDF9304 型MEMS熱式質(zhì)量流量芯片2023-08-14Axious閱讀(1690)贊(0)GDF9304 型MEMS熱式質(zhì)量流量芯片 簡(jiǎn)介 GDF9304流量傳感芯片是根據(jù)熱力學(xué)原理對(duì)流經(jīng)芯片表面的氣體流量進(jìn)行測(cè)量的。所有的焊盤(pán)均拉至一側(cè)以便于封裝。此外采用低熱源電阻,使其可以在低至5V電壓下工作,所以芯片功耗低。芯片敏感區(qū)域由...